Oksalil fluorida

Nama

Nama IUPAC (preferensi)

Oksalil difluorida

Nama lain

TL-108

Penanda

Nomor CAS

359-40-0^Y

Model 3D (JSmol)

Gambar interaktif

ChemSpider

9287^N

Nomor EC

PubChem CID

9668

Nomor RTECS

{{{value}}}

UNII

2L7RR7QFL9^Y

CompTox Dashboard (EPA)

DTXSID9059888

InChI

InChI=1/C2F2O2/c3-1(5)2(4)6

SMILES

C(=O)(C(=O)F)F

Sifat

C₂F₂O₂

94,017 g/mol

−3 °C (27 °F; 270 K)

26,6 °C (79,9 °F; 299,8 K)

Kecuali dinyatakan lain, data di atas berlaku pada suhu dan tekanan standar (25 °C [77 °F], 100 kPa).

N verifikasi (apa ini ^YN ?)

Referensi

Chemical compoundTemplat:SHORTDESC:Chemical compound

Oksalil fluorida adalah sebuah senyawa organofluorin dengan rumus kimia (COF)₂. Senyawa ini merupakan turunan terfluorinasi dari asam oksalat. Cairan nirwarna ini dibuat melalui reaksi natrium fluorida dengan oksalil klorida.^[1]

Oksail fluorida sedang diteliti untuk digunakan dalam etsa sebagai pengganti senyawa dengan potensi pemanasan global (global warming potential, GWP) tinggi.^[2]^[3]

Lihat pula

Referensi

↑ C. W. Tullock, D. D. Coffman (1960). "Synthesis of Fluorides by Metathesis with Sodium Fluoride". J. Org. Chem. 25 (11): 2016–2019. doi:10.1021/jo01081a050.
↑ Method of etching and cleaning using fluorinated carbonyl compounds, US Patent 6635185.
↑ Simon Karecki; Ritwik Chatterjee; Laura Pruette; Rafael Reif; Terry Sparks; Laurie Beu; Victor Vartanian & Konstantin Novoselovc (2001). "Evaluation of Oxalyl Fluoride for a Dielectric Etch Application in an Inductively Coupled Plasma Etch Tool". J. Electrochem. Soc. 148 (3): G141–G149. Bibcode:2001JElS..148G.141K. doi:10.1149/1.1348263.