Teknologi saput tipis[1] (thin film technology) adalah salah satu teknologi mikroelektronika yang digunakan untuk fabrikasi sensor. Cara kerja dari teknologi ini adalah pembuatan saput tipis berbahan logam, semikonduktor atau polimer yang kemudian digunakan untuk fabrikasi sensor. Proses fabrikasi sensor dengan teknologi saput tipis memanfaatkan saput tipis dengan ukuran mikrometer dengan metode penumbuhan secara penguapan, kimia maupun fisika. Metode penumbuhan yang umum dalam teknologi saput tipis antara lain epitaksi sinar molekul, pelapisan listrik, oksidasi, semprot pirolisis, pengendapan uap kimia, atau pembersitan.[2] Kelebihan dari teknologi saput tipis adalah hanya membutuhkan biaya yang murah apabila diadakan produksi massal. Produksi sensor juga menjadi lebih cepat dan lebih sensitif karena jarak antarkomponen elektronik menjadi lebih dekat.[3]
Saput tipis
Saput tipis yang digunakan untuk fabrikasi sensor dibuat melalu fotolitografi. Resolusi layar dari saput tipis ditentukan oleh proses fotolitografi. Umumnya, resolusi saput tipis untuk fabrikasi sensor berukuran antara lima hingga sepuluh mikrometer. Saat ini skala resolusi saput tipis telah dikembangkan ke ukuran nanometer dengan teknologi nanoteknologi.[3]
Referensi
Catatan kaki
- ↑ https://pasti.kemdikbud.go.id/istilah_resultdet1.php?id=33077&fasing=thin%20film&pilih=3&ran=0&page=1
- ↑ Wiranto 2020, hlm. 8.
- 1 2 Wiranto 2020, hlm. 9.
Daftar pustaka
- Wiranto, Goib (2020). Pengembangan Sensor Berbasis Teknologi Mikroelektronika untuk Pemantauan Pencemaran Lingkungan. Jakarta: LIPI Press. ISBN 978-602-496-143-5. Diarsipkan dari versi aslinya tanggal 2021-09-26. Diakses tanggal 2021-09-28.
{{cite book}}: Parameter tidak dikenal|dead-url=diabaikan (|url-status=disarankan)Pemeliharaan CS1: Ref menduplikasi bawaan (link)
| Internasional | |
|---|---|
| Nasional | |
| Lain-lain | |
